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    半导体制造对环境的要求
    文章来源：中国科学院微电子研究所 点击数： 更新时间：2008-5-19 【字体：小 大】
    （欢迎光临中国IEEE，希望本文能对您有所帮助http://www.cnieee.com)

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    关于〖半导体制造对环境的要求〗的最新评论：
    •          主要污染源：微尘颗粒、中金属离子、有机物残留物和钠离子等轻金属例子。
    •          超净间：洁净等级主要由 微尘颗粒数/m3
     
    0.1um    
    0.2um  
    0.3um   
    0.5um    
    5.0um
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