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    半导体工艺中的超纯试剂
    文章来源：本站原创 点击数： 更新时间：2008-4-20 【字体：小 大】
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    超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的专用化学品。主要用于芯片的清洗和腐蚀。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率和电性能及可靠性有着十分重要的影响。当微粒杂质，无机离子，有机物质，微生物以及气体杂质数量超过一定限度时，就会使集成电路产品发生表面的擦伤，图形断线，短路，针孔，剥离等现象，导致电性能异常。超净高纯试剂具有品种多，用量大，技术要求高，储存有效期短和强腐蚀性等特点。
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